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晶圓表面缺陷檢測(cè):半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵質(zhì)量控制環(huán)節(jié)
2025-01-22

在半導(dǎo)體制造業(yè)中,晶圓作為芯片的基礎(chǔ)載體,其表面質(zhì)量直接決定了最終產(chǎn)品的性能和可靠性。晶圓在生產(chǎn)過程中,由于多種因素的影響,如材料純度、制造工藝、設(shè)備精度等,表面可能會(huì)出現(xiàn)各種缺陷,如劃痕、顆粒污染、裂紋、氧化層異常等。這些缺陷不僅會(huì)降低芯...

  • 2021-11-24

    三維形貌儀已被多個(gè)實(shí)驗(yàn)室、大學(xué)和行業(yè)使用。UP系列在一個(gè)頭上組合了4種成像模式。能夠在同一測(cè)試平臺(tái)上運(yùn)行多種測(cè)試,只需單擊按鈕,就能轉(zhuǎn)換成像模式。這種組合可以輕松地對(duì)任何表面進(jìn)行成像如透明、平坦、黑暗、扁平、彎曲的表面等。每種成像模式都具有各自的優(yōu)勢(shì),并且各項(xiàng)技術(shù)彼此互補(bǔ)。該項(xiàng)整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析,也可以減少維護(hù)成本,從而提高效率。三維形貌儀應(yīng)用領(lǐng)域:對(duì)文物清洗效果進(jìn)行無(wú)損檢測(cè)、評(píng)估;修復(fù)、加固效果評(píng)估;古代紙張、絲織品分析鑒定;用于考古現(xiàn)場(chǎng)記錄;汽車、航空、船舶...

  • 2021-11-19

    晶圓鍵合機(jī)是實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)微型化和系統(tǒng)更高集成度的關(guān)鍵工藝設(shè)備,尤其是先進(jìn)的MEMS、MOEMS制造的關(guān)鍵設(shè)備之一。其鍵合工藝主要包括陽(yáng)極鍵合、共晶鍵合、熔融鍵合。該設(shè)備主要應(yīng)用于微機(jī)電系統(tǒng)極限環(huán)境可靠性測(cè)試試驗(yàn)中的封裝測(cè)試過程,為各種微機(jī)電器件提供不同類型的鍵合封裝,為檢驗(yàn)不同材料、鍵合條件對(duì)可靠性的影響提供鍵合技術(shù)支持。EVG510-晶圓鍵合機(jī)是用于研發(fā)或小批量生產(chǎn)的晶圓鍵合系統(tǒng),可以處理從碎片到200mm的基板尺寸。該工具支持所有常見的晶圓鍵合工藝,例如陽(yáng)極,玻璃粉,焊料,共...

  • 2021-11-16

    實(shí)際生產(chǎn)中微觀上的表面形貌對(duì)工程零件的許多技術(shù)性能的評(píng)價(jià)具有直接的影響,而且表面三維評(píng)定參數(shù)由于能更全面、更真實(shí)地反映零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視,因此便攜式三維形貌儀的測(cè)量就越顯重要。通過對(duì)三維形貌的測(cè)量可以比較全面地評(píng)定表面質(zhì)量的優(yōu)劣,進(jìn)而確認(rèn)加工方法的好壞及設(shè)計(jì)要求的合理性,這樣就可以反過來通過指導(dǎo)加工、優(yōu)化加工工藝以加工出高質(zhì)量的表面,確保零件使用功能的實(shí)現(xiàn)。三維形貌儀適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情...

  • 2021-11-11

    紅外測(cè)厚儀利用紅外光穿透物質(zhì)時(shí)的吸收、反射、散射等效應(yīng)實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量薄膜類材料的厚度,對(duì)水含量、涂布量、薄膜和熱熔膠的厚度有著十分重要的意義。紅外測(cè)厚儀有效地改善了工作環(huán)境,具有測(cè)量準(zhǔn)確、精度高、實(shí)用性好、安全可靠、非接觸式測(cè)量等優(yōu)點(diǎn),并為涂膠池、造紙工序厚度控制提供了準(zhǔn)確的信息,從而提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量,降低了勞動(dòng)強(qiáng)度。紅外測(cè)厚儀測(cè)量的注意事項(xiàng):1、在進(jìn)行測(cè)試的時(shí)候要注意標(biāo)準(zhǔn)片集體的金屬磁性和表面粗糙度應(yīng)當(dāng)與試件相似。2、測(cè)量時(shí)側(cè)頭與試樣表面保持垂直。3、測(cè)量時(shí)要注意...

  • 2021-11-06

    翹曲度,用于表述平面在空間中的彎曲程度,在數(shù)值上被定義為翹曲平面在高度方向上距離最遠(yuǎn)的兩點(diǎn)間的距離。絕對(duì)平面的翹曲度為0。翹曲變形是評(píng)定產(chǎn)品質(zhì)量的重要指標(biāo)之一。對(duì)于相同翹曲影響模式的同一產(chǎn)品時(shí),這些指標(biāo)可以描述不同設(shè)計(jì)的翹曲變形的大小程度。但對(duì)于不同材料、模具結(jié)構(gòu)等造成翹曲變形的影響模式改變的因素,不同設(shè)計(jì)下各部分的翹曲變形嚴(yán)重程度也隨之改變。美國(guó)FSM高溫薄膜應(yīng)力及翹曲度測(cè)量?jī)x具有哪些特殊功能?1、多重導(dǎo)向銷設(shè)計(jì),手動(dòng)裝載樣品,有優(yōu)異的重復(fù)性與再現(xiàn)性研究。2、優(yōu)異的分辨率—...

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