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岱美中國(guó)獲得膜厚測(cè)量?jī)xThetaMetrisis FR-ES

發(fā)表時(shí)間:2024/1/8 15:08:46

該客戶(hù)為中國(guó)東北部的一家中科院?jiǎn)挝?,主要研究領(lǐng)域:聚焦先進(jìn)材料。先進(jìn)材料領(lǐng)域布局先進(jìn)材料設(shè)計(jì)、先進(jìn)結(jié)構(gòu)材料、先進(jìn)復(fù)合材料、先進(jìn)功能材料與器件、先進(jìn)能源材料與器件、電分析儀器等6個(gè)主要研究方向;該單位擁有多個(gè)國(guó)重實(shí)驗(yàn)室;是國(guó)務(wù)院學(xué)位委員會(huì)授權(quán)培養(yǎng)碩士、博士和建立博士后流動(dòng)站的單位之一,是中國(guó)科學(xué)院博士生重點(diǎn)培養(yǎng)基地。






FR-ES膜厚測(cè)量?jī)x采用的是波長(zhǎng)范圍在370-1020nm的可見(jiàn)光干涉測(cè)量,能夠測(cè)量12nm-100um范圍的膜層厚度,準(zhǔn)確度高達(dá)0.1%或1nm,精度為0.05nm,是一款性?xún)r(jià)比很高的膜厚測(cè)量設(shè)備。


配件包括:

濾光片 -- 可適用光刻膠

FR-Mic -- 用于微米級(jí)別區(qū)域測(cè)量

/自動(dòng)載物臺(tái) -- 100x100mm200x200mm

薄膜/杯架 -- 用于吸收率/透射率和化學(xué)濃度測(cè)量

積分球 -- 用于漫反射和全反射

API -- 二次軟件開(kāi)發(fā)

接觸式探頭 -- ST是用于彎曲樣品反射率膜厚測(cè)量的附件


通過(guò)不同模塊的組合,最終設(shè)置可滿(mǎn)足用戶(hù)的任何需求。


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